ÃʹÚÇü ź¼Ò ÁöÁö Çʸ§Àº 3 Ãþ ¸âºê·¹ÀÎ ±¸Á¶·Î ¸¶ÀÌÅ©·Î ±×¸®µåÁöÁö Çʸ§À» ±â¹ÝÀ¸·Î ÇÑ ´ÙÀ½ ÃʹÚÇü ź¼Ò Ãþ ÃþÀ¸·Î µµ±ÝµË´Ï´Ù. ¡£ °ñ°ÝÀ¸·Î ¸Þ½¬ ±¸¸ÛÀÌ ÀÖ´Â ¾ãÀº ¼ø¼ö ź¼Ò Çʸ§°ú´Â ´Ù¸¥ ¸¶ÀÌÅ©·Î ±×¸®µå ¸Þ½¬·Î µ¤ÀÎÀÌ ÃʹÚÇü ź¼Ò Çʸ§ÀÇ µÎ²²´Â Less5nm ´Â ÇöÀç ¾ãÀº Áö¿ø Çʸ§ÀÔ´Ï´Ù. ÁÖ·Î ºÐ»êÀÌ ÁÁÀº ³ª³ë Àç·á °üÂûÀ» À§ÇØ ¼³°èµÇ¾ú½À´Ï´Ù. ¾ãÀº ź¼Ò Çʸ§Àº ¸ð°øÀ» ¸·°í »ùÇÃÀ» Çʸ§¿¡ ±ÕÀÏÇÏ°Ô ¹èºÐ ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù., ±×¸²¿¡¼ ´Ù¼öÀÇ ³ª³ë ÀÔÀÚ°¡ ¹Ì¼¼ ±â°ø¿¡ Èð¾îÁ® ÀÖÀ½À» ºÐ¸íÈ÷ ¾Ë ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù., ºÐ»êÀÇ »ùÇÃÀ» Á¶»ç ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù., °íÇØ»óµµ À̹ÌÁö ÃÔ¿µ¿¡µµ µµ¿òÀ̵˴ϴÙ. ³ª³ë ¿ÍÀ̾î, ¸ðÆ÷·ÎÁö ¹× ³ª³ë Æ©ºê¿Í °°Àº 1 Â÷¿ø ³ª³ë Àç·áÀÇ °íÇØ»óµµ °üÂû¿¡ ÀûÇÕ ÇÒ»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ƯÈ÷ ÀÔÀÚ Å©±â°¡ ³·°í ¾È°¨ÀÌ ³·Àº ÀϺΠ³ª³ë Å©¸®½ºÅ»ÀÇ ÇüÅÂ¿Í °íÇػ󵵸¦ °üÂûÇÏ´Â µ¥ ÀûÇÕÇÕ´Ï´Ù. ¡£
ÃÑ µÎ²²: 3 5 nm
ÆÐÅ· 50 °³, 230 ¸Þ½¬, 300 ¸Þ½¬ ±¸¸® ij¸®¾î, Çʸ§ thickness3-5nm ¡£
¡¼Âø¿ëÁÖÀÇ¡½: °íÁ¤¹Ð ÇɼÂÀ» »ç¿ëÇÏ¿© º¹¿ë½Ã Àß ÀÛµ¿, ±ÁÈû µî ¼Õ»óÀ» ¹æÁöÇϽʽÿÀ. À¯±â Çʸ§ÀÌ ÀÖÀ¸¸ç À¯±â ¿ë¸Å¿Í Á¢ÃË ÇÒ ¼ö ¾ø½À´Ï´Ù. »ùÇà »óÀÚ¸¦ ÇâÇÑ ±ÛÀÚÀÇ ÇÑÂÊÀº Çʸ§ÀÇ Ãø¸éÀÔ´Ï´Ù. ¡£ ÀÌ Á¦Ç°Àº ¾ö°ÝÇÏ°Ô °ËÅäµÇ°í °Ë¿µÇ¾ú½À´Ï´Ù. Ç°Áú ¹®Á¦°¡ ÀÖÀ¸¸é ÀÎÁõ¼¿¡ ¹øÈ£¿Í ÇÔ²² ´ç»ç¿¡ ¹®ÀÇÇϽʽÿÀ. ¡£ ¡¼ÀúÀ塽:½Ç¿Â¿¡¼ °ÇÁ¶ º¸°ü (°ÇÁ¶±â ¶Ç´Â °ÇÁ¶ »óÀÚ¿¡ ³Ö´Â °ÍÀÌ ÁÁ½À´Ï´Ù.), ¿À¿° ¹æÁö, Ãæ°Ý ¹æÁö, ÁÁÀº º¸°ü Á¶°Ç, Á¤»ó º¸°ü 2 ³â µî.
Àü¼Û ÀüÀÚ Çö¹Ì°æ (TEM) À» ´õ Æí¸®ÇÏ°í È¿°úÀûÀ¸·Î »ç¿ëÇϱâ À§ÇØ ³ª³ë Àç·á¸¦ °üÂûÇϱâ À§ÇØ Áö¿ø Çʸ§ÀÌ ¹ß»ýÇß½À´Ï´Ù. ÁöÁö Çʸ§ÀÇ Ç°ÁúÀº ÃÖÁ¾ À̹Ì¡ È¿°ú¿¡ Å©°Ô ¿µÇâÀ» ¹ÌĨ´Ï´Ù., ±×µé Áß¿¡¼ Çʸ§ µÎ²²´Â »ç¶÷µéÀÇ °ü½ÉÀÇ ÃÊÁ¡À̵Ǿú½À´Ï´Ù., Çʸ§ÀÇ ¿î¹Ý ´É·Â°ú Çʸ§ µÞ¸éÀÇ ¿µÇâ·ÂÀÌ µÎ °¡Áö ¼º´É Ç¥½Ã±â¿¡ Á÷Á¢ ¿¬°áµÇ¾î Àֱ⠶§¹®ÀÔ´Ï´Ù. ±×¸®°íÀÌ µÎ °¡Áö Ç¥½Ã±â´Â »ó´ëÀûÀ¸·Î ¸ð¼øÀûÀ̸ç, º£¾î¸µ ¿ë·®ÀÇ Çâ»óÀº Çʸ§ µÎ²²ÀÇ Áõ°¡¸¦ ÀǹÌÇÕ´Ï´Ù., Áõ°¡ Çʸ§ µÎ²² Áõ°¡ ¿µÇâ Çʸ§ µÞ¸é. ¡£ zhongjing ¾Ç±â (º£ÀÌ¡) Çʸ§ ±â¼ú Co., ltdÀÇ »ý»ê ¿¬±¸¿øÀºÀÌ Áß¿äÇÑ ÁÖÁ¦¿¡ ´ëÇØ ½ÉÃþ ³íÀǸ¦ ¼öÇàÇß½À´Ï´Ù., ÀÌ ÇÁ·Î¼¼½ºÀÇ Áö¼ÓÀûÀÎ °³¼±À» ÅëÇØ ¼·Î ´Ù¸¥ »ç¿ëÀÚÀÇ ¿ä±¸¸¦ ÃæÁ·½ÃÅ°±â À§ÇØ ÀÏ·ÃÀÇ Áö¿ø Çʸ§ÀÌ ¼Ò°³µÇ¾ú½À´Ï´Ù. ¡£ ±×Áß ÃʹÚÇü ź¼Ò ÁöÁö Çʸ§, ´Ù°ø¼º Çʸ§, ºñ±Ø¼º ±×¸®µå µîÀº ¿ì¸® ȸ»ç ¸ðµÎ Á¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù.
![](https://ae01.alicdn.com/kf/H3b7f29061e18402cb9f296164387cee0Q.jpg)
ÀÚÁÖ ¹¯´Â Áú¹®
Msop±¸¸® ±×¹°, ź¼Ò ÁöÁö Çʸ§, ¸¶ÀÌÅ©·Î ±×¸®µå, ÃʹÚÇü ź¼Ò Çʸ§, ´Ù°ø¼º Çʸ§ÀÇ Â÷ÀÌÁ¡Àº ¹«¾ùÀԴϱî?
Àü¼Û ÀüÀÚ Çö¹Ì°æ¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ±¸¸® ¸Þ½¬, Áï ¿î¹Ý »ùÇÃÀÇ ¿î¹Ý ³×Æ®¿öÅ©. ±×¹°ÀÌ ±¸¸®·Î ¸¸µé¾îÁø °æ¿ì ±¸¸® ±×¹°À̶ó°í ºÒ¸®´Â °æ¿ì ´ÏÄÌ, ¸ô¸®ºêµ§, ±Ý, ³ªÀÏ·Ð, ÇØ´ç ´ÏÄÌ ±×¹°, ¸ô¸®ºêµ§ ±×¹°, ±Ý ±×¹°, ³ªÀÏ·Ð ±×¹°, µî.
±¸¸® ±×¹°
Åë½Å»ç ³×Æ®¿öÅ©¸¸À» »ç¿ëÇϽʽÿÀ.“º£¾î ³×Æ®¡±ÁÖ·Î »ý¹° »ùÇà Áغñ¿¡ »ç¿ëµÇ¸ç ½ÌÅ©´ë¿¡¼ »ç¿ëµÇ´Â ½½¶óÀ̼¿Í ÇÔ²² ÀÛµ¿ ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.“º£¾î ³×Æ®¡±»ùÇà äÃë. ±×·± ´ÙÀ½ ź¼Ò 󸮸¦ ½ºÇÁ·¹ÀÌ ÇÑ ´ÙÀ½ ÀüÀÚ Çö¹Ì°æ °üÂû¿¡ µé¾î°©´Ï´Ù.
´ëºÎºÐÀÇ º¯¼Ó±â ÀüÀÚ Çö¹Ì°æ »ùÇÃÀº »ùÇà Áغñ¿¡ »ç¿ëµË´Ï´Ù., »ùÇÃÀ» ¿î¹Ý ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï“·Îµå ³×Æ®¿öÅ©¡±¿¡, µÉ °ÍÀÔ´Ï´Ù“·Îµå ³×Æ®¿öÅ©¡±À¯±â Çʸ§ÀÇ ÃþÀ» µ¤À¸½Ê½Ã¿À.“Áö¿ø Çʸ§¡±. ÀÌ·± Á¾·ùÀÇ Ä³¸®¾î, Áö¿ø Çʸ§ Æ÷Çԓij¸®¾î Áö¿ø Çʸ§¡±¡£ »ùÇÃÀÌ Ä³¸®¾î Áö¿ø Çʸ§¿¡ Á¢ÃËÇϸé ÁöÁö´ë Çʸ§¿¡ ´Ü´ÜÈ÷ ÈíÂøµÇ°í ±¸¸Û¿¡¼ ¹Ì²ô·¯ÁöÁö ¾Ê½À´Ï´Ù. ÀüÀÚ Çö¹Ì°æ¿¡ ´ëÇÑ °üÂûÀ» À§ÇØ.
ź¼Ò Áö¿ø Çʸ§
°ßº»ÀÌ °Å¿ï ¾È¿¡ ³õÀÏ ¶§,“ij¸®¾î Áö¿ø Çʸ§¡±ÀüÀÚºö¿¡ ÀÇÇØ ¹æ»çµÇ°í À¯±â³ó ÁöÁö´ë¿¡ ÃæÀüÀÌ ´©ÀûµË´Ï´Ù., ¶ÇÇÑ »ùÇà ¹æÀü, ¿ì¾ÆÇÑ »ùÇÃ, ±¸Å¸, Çʸ§ ÆÄ¿ µîÀ» Áö¿øÇÕ´Ï´Ù. ±×·¡¼ »ç¶÷µéÀº ÁöÁö Çʸ§¿¡ ź¼Ò¸¦ »Ñ¸®°í, ÁöÁö Çʸ§ÀÇ Àüµµµµ¸¦ Çâ»ó½ÃÅ°°í, ÁÁÀº °üÂû È¿°ú¸¦ ´Þ¼ºÇÑ´Ù°í »ý°¢ÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ·± Á¾·ùÀÇ Åë°ú“ź¼Ò ½ºÇÁ·¹ÀÌ Ä³¸®¾î Áö¿ø Çʸ§¡±, ªÀº À̸§“ź¼Ò Áö¿ø Çʸ§¡±, ÀÏ¹Ý Çʸ§ µÎ²²´Â10-20nm¡£
»ý»ê ºñ¿ë ¹× »ç¿ë È¿°ú¿¡¼ ±¸¸® ±×¹°Àº °¡Àå °æÁ¦ÀûÀÌ°í ½Ç¿ëÀûÀ̹ǷΠ³Î¸® »ç¿ëµË´Ï´Ù. ±×·¡¼ »ç¶÷µéÀº Á¾Á¾ ¾ð±ÞÇÕ´Ï´Ù.“±¸¸® ±×¹° Áö¿ø Çʸ§¡±¡¢“ź¼Ò Áö¿ø Çʸ§¡±¡¢“ź¼Ò Çʸ§¡±¡¢“ÆÎ È Çʸ§¡±Àá±ñ, ½ÉÁö¾î À߸øµÈ ÀüÈ“±¸¸® ±×¹°¡±, ±×µé ´ëºÎºÐÀº ÀÌ·± Á¾·ù¸¦ °¡¸®Åµ´Ï´Ù.“±¸¸® ³×Æ® ½ºÇÁ·¹ÀÌ Ä«º» Áö¿ø Çʸ§¡±. º¸Åë“ź¼Ò Áö¿ø Çʸ§¡±¡£
¸¶ÀÌÅ©·Î ±×¸®µå Áö¿ø Çʸ§
Á¤È®È÷ ¸»Çؼ, ¸¶ÀÌÅ©·Î ±×¸®µå´Â ´Ù¾çÇÑÁöÁö Çʸ§ÀÔ´Ï´Ù., ÁöÁö´ë, Çʸ§¿¡ Ưº°È÷ ¸¸µé¾îÁø ¹Ì¼¼ ±â°øÀ» ¸¸µé ¶§ÀÔ´Ï´Ù.“¸¶ÀÌÅ©·Î ±×¸®µå Áö¿ø Çʸ§¡±, ¶ÇÇÑ Åº¼Ò ºÐ»ç Áö¿ø Çʸ§ÀÔ´Ï´Ù., ÀÏ¹Ý Çʸ§ µÎ²²´Â15-30nmÁÖ·Î »ùÇÃÀ» ÁöÁö ¸âºê·¹ÀÎ ±â°øÀÇ °¡ÀåÀÚ¸®¿¡ ÀåÂø ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ¼³°èµÇ¾ú½À´Ï´Ù., »ùÇÃÀ» ¸¸µé±â À§ÇØ“Çʸ§ ¾øÀ½¡±°üÂûÀÔ´Ï´Ù. Çʸ§ ¾øÀ½ÀÇ ¸ñÀûÀº ÁÖ·Î À̹ÌÁö ¶óÀÌ´×À» °³¼±ÇÏ´Â °ÍÀÔ´Ï´Ù. ±×·¡¼ °üÇü, ¸·´ë, ³ª³ë Àç°áÇÕ µîÀ» °üÂûÇϽʽÿÀ.“¸¶ÀÌÅ©·Î ±×¸®µå¡±Áö¿ø Çʸ§Àº Àß ÀÛµ¿ÇÕ´Ï´Ù. ƯÈ÷ ÀÌ·¯ÇÑ »ùÇÃÀÇ °íÇØ»óµµ À̹ÌÁö¸¦ °üÂû ÇÒ ¶§ ´õ ³ªÀº ¼±ÅÃÀÔ´Ï´Ù.
ź¼Ò Áö¿ø Çʸ§ ¹× ÀÛÀº ±¸¸Û ¸¶ÀÌÅ©·Î ±×¸®µå ÀϹÝÀûÀ¸·Î Å×½ºÆ®¿¡¼ ³¬½Ã »ùÇÿ¡ »ç¿ëµÇ¸ç, »ç½Ç ÀÛÀº ±¸¸Û¿¡ ÃʹÚÇü ź¼Ò Çʸ§ Ãþµµ ÀÖ½À´Ï´Ù. ¸¶ÀÌÅ©·Î ±×¸®µå. ¡£ °íÇØ»óµµ µÎ²² »ùÇà ÀÖ¾î¾ßÇÕ´Ï´Ù controlled20nmThe ´ÙÀ½, ±×·¡¼ ÀÏ¹Ý Á÷°æ less20nmThe ÆÄ¿ì´õ Á÷Á¢ fished, ÀÔÀÚ´Â ´õ ÀÌ¿Â °ÍÀÔ´Ï´Ù ¾ãÀº ÈÄ ÀÓº£µù...
ÃʹÚÇü ź¼Ò ÁöÁö Çʸ§
ÃʹÚÇü ź¼Ò Çʸ§À¸·Îµµ ÀÏÁ¾ÀÇÁöÁö Çʸ§ÀÔ´Ï´Ù... ±×°ÍÀº ¸¶ÀÌÅ©·Î ±×¸®µå¸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ¸Å¿ì ¾ãÀº ź¼Ò Çʸ§À» Áßø, ÀϹÝ3-5nm¡£ ÀÌ ÃʹÚÇü ź¼Ò Çʸ§ÀÇ ¸ñÀûÀ¸·Î ¾ãÀº ź¼Ò Çʸ§À¸·Î ¸ð°øÀ» ¸·½À´Ï´Ù. ¡£ ¸¶ÀÌÅ©·Î ±×¸®µå °üÂû È¿°ú°¡ ÁÁ±â ¶§¹®¿¡ ±¸¸ÛÀ» ¸·À¸·Á´Â ÀÌÀ¯´Â ¹«¾ùÀԴϱî?? ÀÌ°ÍÀº ÁÖ·Î ´õ ³ªÀº ºÐ»êÀ» °¡Áø ³ª³ë Àç·á ¿ëÀÔ´Ï´Ù., °°Àº:10nmµÚ¿¡ ¿À´Â °ßº», ¿ì¼öÇÑ ºÐ»ê ¹× ÁÁÀº È¿°ú.
´Ù°ø¼º ź¼Ò ÁöÁö Çʸ§
´Ù°ø¼º Çʸ§Àº Zhongjing ¾Ç±âÀÇ ¿À¸®Áö³Î ½ÅÁ¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù., ±×´Â ÀϹÝÀûÀΠź¼Ò ÁöÁö Çʸ§°ú ¸¶ÀÌÅ©·Î ±×¸®µåÁöÁö Çʸ§À» °®Ãá Á¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù. ¡£ ÀÏ¹Ý Åº¼Ò Áö¿ø Çʸ§Àº ÁÖ·Î ÇüÅ ¹× Å×½ºÆ® ºÐ»êÀ» °üÂûÇÏ´Â µ¥ »ç¿ëµË´Ï´Ù., ¸¶ÀÌÅ©·Î ±×¸®µå Áö¿ø Çʸ§, ÁÖ·Î ±â¹Ý °íÇØ»óµµ ¡£ ´Ù°ø¼º Çʸ§ÀºÁöÁö Çʸ§ ¿µ¿ªÀÌ Å©±â ¶§¹®¿¡ Çʸ§¿¡ °¡²û ¸ð°øÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù., ÀÌ·± ½ÄÀ¸·Î ³ª³ëÀÔÀÚÀÇ ºÐ»ê ¹× ÇüŸ¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù., °íÇØ»óµµ À̹ÌÁö ¼öÁý ¡£ ±×°ÍÀº ¸Å¿ì ½Ç¿ëÀûÀÎ Áö¿ø Çʸ§ÀÔ´Ï´Ù Á¦Ç° ¡£
´ç»ç Á¦Ç°, ź¼Ò Áö¿ø Çʸ§, ¼ø¼ö ź¼Ò Çʸ§, ¸¶ÀÌÅ©·Î ±×¸®µå Çʸ§, ÃʹÚÇü ź¼Ò Çʸ§, ´Ù°ø¼º Çʸ§, ÁÂÇ¥ ³×Æ®¿öÅ© Áö¿ø Çʸ§ µîÀº ´Ù¸¥ Á¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù. ³ª´Â ±×°ÍÀ» »ç¿ëÁßÀ¸·Î ±¸º°ÇÏ°í ½Í½À´Ï´Ù. ¡£ ÀÚ¼¼ÇÑ Â÷ÀÌ´Â °ü·Ã Á¦Ç° Á¤º¸¸¦ ÂüÁ¶ÇϽʽÿÀ.
Msop±æÀÌ°¡ ´Ù¸¥ ³ª³ë Æ©ºêÀÇ °íÇػ󵵸¦ °üÂûÇϽʽÿÀ. ¾î¶² Çʸ§ÀÌ °¡Àå ÁÁ½À´Ï±î?
ÀϹÝÀûÀ¸·Î ³ª³ë Æ©ºê¸¦ º¸´Â µ¥ µÎ °¡Áö ¸ñÀûÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ¸ÕÀú, ±æÀ̸¦ º¸¸é ÁÖ·Î Àú¹èÀ²·Î °üÂûµË´Ï´Ù. µÑ°, Æ©ºê º®À»º¸°í, ÁÖ·Î ³ôÀº À̹ÌÁö¸¦ º¸½Ê½Ã¿À.
¾Æ¹«¸® ±æ¾îµµ ³ôÀº À̹ÌÁö, ƯÈ÷ °íÇػ󵵸¦ º¸¸é ¸¶ÀÌÅ©·Î ±×¸®µå Çʸ§À̳ª ´Ù°ø¼º Çʸ§À» »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù. ³·Àº °üÃø ±æÀ̸¦ ÃæÁ·½Ãų»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó °íÇØ»óµµ °üÂûÀÇ ¿ä±¸ »çÇ×À» ÃæÁ·½Ãų ¼öµµ ÀÖ½À´Ï´Ù. ¡£ ÇÏÁö¸¸ ´ç½ÅÀº ¼±ÅÃÇؾßÇÕ´Ï´Ù“°íÇØ»óµµ Àü¼Û ÀüÀÚ Çö¹Ì°æ¡±(HRTEM), ±×·¸Áö ¾ÊÀ¸¸é ¸¶ÀÌÅ©·Î ±×¸®µå Çʸ§ÀÌ ÀÛµ¿ÇϱⰡ ¾î·Æ½À´Ï´Ù. º¸Åë, ÁÁ½À´Ï´Ù.“ź¼Ò Áö¿ø Çʸ§¡±Ä«º» ³ª³ë Æ©ºê º®ÀÇ °íÇػ󵵵µ º¼ ¼ö ÀÖÁö¸¸ »ç¿ëÀ» ÃÊ°úÇÏÁö ¾Ê½À´Ï´Ù.“¸¶ÀÌÅ©·Î ±×¸®µå Çʸ§¡±°üÂû È¿°ú ¡£
ÀÌÀ¯´Â: ¸¶ÀÌÅ©·Î ±×¸®µå Çʸ§¿¡ ±¸¸ÛÀÌ ÀÖ°í, Æ©ºê º®Àº ¸¶ÀÌÅ©·Î ±×¸®µåÀÇ ±¸¸Û¿¡¼ º¼ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù., ź¼Ò ÁöÁö Çʸ§¿¡´Â ±¸¸ÛÀÌ ¾øÀ¸¸ç Çʸ§ÀÇ µÞ¸é ¹Ù´ÚÀº °íÇØ»óµµ °üÂû¿¡ ¿µÇâÀ» ¹ÌĨ´Ï´Ù. ¡£ ÆÄ¿ì´õ »ùÇÃÀº µ¿ÀÏÇÕ´Ï´Ù.
Msop³ª³ë Àç·á ¹× »ý¹° ¹°Áú¿¡ ÀûÇÕÇÑ ±¸¸® ¸Þ½¬ Áö¿ø Çʸ§À» °üÂûÇϽʽÿÀ.
ź¼Ò Áö¿ø Çʸ§À» óÀ½ ±¸ÀÔÇÏ¸é ¾î¶² ¼öÀÇ ±¸¸® ¸Þ½¬ Áö¿ø Çʸ§À» ¼±ÅÃÇؾßÇÒÁö ¸ð¸£°Ú½À´Ï´Ù... º¸Åë ³ª³ë ¼ÒÀç, ¼±ÅÃ300¸Þ½Ã ¶Ç´Â230¸Þ½¬ ±¸¸® ±×¹° ź¼Ò Áö¿ø Çʸ§ÀÌ ´õ ÀûÇÕÇÕ´Ï´Ù. »ý¹° Àç·á (½½¶óÀ̽º »ùÇÃ), ¼±ÅÃ200¸Þ½Ã ¶Ç´Â150¸Þ½¬ ±¸¸® ±×¹° ź¼Ò Áö¿ø Çʸ§ÀÌ ´õ ÀûÇÕÇÕ´Ï´Ù.
³ª³ë Àç·á¸¦ ¸¸µå´Â °æ¿ì (50nm´ÙÀ½), °íÇØ»óµµ À̹ÌÁö¸¦º¸°í ¸¶ÀÌÅ©·Î ±×¸®µå Çʸ§À» ¼±ÅÃÇϽʽÿÀ. ³ª³ë Àç·á¸¦ ¸¸µå´Â °æ¿ì (10nm´ÙÀ½), »ùÇà ºÐ»êÀÌ ¾ÆÁÖ ÁÁ°í, ÃʹÚÇü ź¼Ò Áö¿ø Çʸ§ÀÔ´Ï´Ù. ÇÏÁö¸¸ ÀüÁ¦´Â °íÇØ»óµµ ÀüÀÚ Çö¹Ì°æÀ» »ç¿ëÇÏ´Â °ÍÀÔ´Ï´Ù (200kVÀ§) ¡£ »ç¿ëÇÏ´Â °æ¿ì100kVÀüÀÚ Çö¹Ì°æ, ¸¶ÀÌÅ©·Î ±×¸®µå Çʸ§À» »ç¿ëÇÒ ÇÊ¿ä°¡ ¾ø½À´Ï´Ù.