Á¶½ÉÇϽʽÿÀ: ¾ÆÅ©¸± ¹°ÀÚ´Â À¯±â ¼Öº¥Æ® ¸¶½Ê½Ã¿À
¾ÆÅ©¸± ºê·¡Å¶À» À¯±â ¿ë¸Å·Î û¼ÒÇÏÁö ¸¶½Ê½Ã¿À.
Å» À̿¼ö¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© û¼ÒÇϽʽÿÀ. ÇÈ ºê·¡Å¶Àº À¯±â ¿ë¸Å¸¦ »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
µà¾ó Æнº AAO ÅÛÇø´ Àü±â ÈÇÐ ÅðÀû¹°
Ưº° Áö¿ø
´õºí Æнº AAO ÅÛÇø´ (µÎ²² 10 ¹ÌÅ©·Ð) ÀÇ Ã¤³Î Á÷°æÀº 10 ~ ¼ö¹é ÀÔ´Ï´Ù.
³ª³ë ¹ÌÅÍÀÇ, ä³Î ±æÀÌ´Â tens ¸¶ÀÌÅ©·Ð¿¡ µµ´Þ ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ä³Î ÆòÇà ¼·Î
Á¶¸®°³ ±ÕÀϼºÀÌ ÁÁ½À´Ï´Ù. µû¶ó¼ Á¾È¾ºñ°¡ ³ô°í ¹Ðµµ°¡ ³ôÀº ±Ý¼Ó ³ª³ë ¿ÍÀ̾î
´õºí Æнº aao¸¦ ÅÛÇø´À¸·Î »ç¿ëÇÏ¿© Àü±â ÈÇÐ ÅðÀûÀ¸·Î Æí¸®ÇÏ°Ô ÁغñÇÕ´Ï´Ù.
![](https://ae01.alicdn.com/kf/Sd8550b4b3d6d418895a0a41b87c9c500L.png)
±×¸² 1. Àü±â ÈÇÐÀ¸·Î ±Ý¼Ó ³ª³ë ¿ÍÀ̾î Áغñ ¿ø¸®ÀÇ È¸·Îµµ
¾ç¹æÇâ aao¸¦ ÅÛÇø´À¸·Î »ç¿ëÇÏ´Â ÁõÂø
±×¸² 1 Àº µà¾ó Æнº AAO ÅÛÇø´À» »ç¿ëÇÏ´Â ±Ý¼Ó ³ª³ë ¿ÍÀÌ¾î ¾î·¹ÀÌÀÇ Àü±â ÈÇÐ ÁõÂø ¿ø¸®ÀÇ È¸·ÎµµÀÔ´Ï´Ù. ù°, ¿¬¼Ó Àüµµ¼º ±Ý¼Ó ÃþÀº µà¾ó Æнº AAO ÅÛÇø´ ÇÑÂÊ¿¡ ÁغñÇؾßÇÕ´Ï´Ù. ¸¶±×³×Æ®·Ð ½ºÆÛÅ͸µ, ÀüÀÚºö Áõ¹ß, ¿ Áõ¹ß ¹× ±âŸ ¹æ¹ýÀ» »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. Àüµµ¼º ±Ý¼ÓÃþ µîÀº ±Ý, Àº µîÀÌ µÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. Àüµµ¼º ±Ý¼Ó ÃþÀÇ µÎ²²´Â µÎ²®¾î¾ßÇÕ´Ï´Ù (¿¹¸¦ µé¾î µÎ²²´Â 1000nm). ¿¬¼Ó ±Ý¼Ó ÃþÀ» Çü¼ºÇÏ·Á¸é aaoÀÇ ±¸¸ÛÀ» ¿ÏÀüÈ÷ ¸·¾Æ¾ßÇÕ´Ï´Ù. ±×·± ´ÙÀ½ ÀûÀýÇÑ Àü±â ÈÇÐ ÅðÀû¹° ¿ë¾× ¹× ÅðÀû¹° Á¶°Ç (¿¹: Àü·ù, Àü¾Ð, ½Ã°£) ÀÌ Àü±â ÈÇÐ ÅðÀû¿¡ »ç¿ëµË´Ï´Ù. ÅÛÇø´ ±¸¸ÛÀÇ Á¦ÇÑÀ¸·Î ÀÎÇØ ±Ý¼Ó ³ª³ë ¿ÍÀ̾ Çü¼ºµË´Ï´Ù. ħÂø °úÁ¤¿¡¼ aaoÀÇ Àüµµ¼º ±Ý¼Ó Ãþ (¿©±â¿¡ aaoÀÇ Àü¸éÀ̶ó°í ÇÔ) ÀÇ ¹Ý´ëÂÊÀº Àü±â ÈÇÐ ÅðÀû¹° ¿ë¾×¿¡ ħ¼öÇؾßÇÕ´Ï´Ù. ¹× ±¸¸Û °¡µæ ¼Ö·ç¼Ç µ¿¾È ´ëº¯ Àüµµ¼º ±Ý¼Ó ·¹À̾î (±Ý¼Ó ÃþÀÇ µÞ¸é) Àü±â ÈÇÐ ÅðÀû¹° ¿ë¾×¿¡ ÀüÇô ¿¬¶ôÇؼ´Â ¾ÈµË´Ï´Ù. ÀÌ ¿ä±¸ »çÇ×À» ÃæÁ·ÇÏ°í AAO ÅÛÇø´ ¼³Ä¡ ¹× Á¦°Å¸¦ ¿ëÀÌÇÏ°ÔÇϱâ À§ÇØ ±×¸² 2 ¿Í °°ÀÌ, ¿ì¸®´Â ÀÌÁß Æнº AAO ÅÛÇø´ÀÇ Àü±â ÈÇÐ ÅðÀûÀ»À§ÇÑ Æ¯¼ö ºê·¡Å¶À» °³¹ßÇß½À´Ï´Ù.
![](https://ae01.alicdn.com/kf/S654a5cd4ac4743aebaabd05cd646caf93.png)
±×¸² 2. (a, b) ¾ç¹æÇâ AAO ÅÛÇø´ÀÇ Àü±â ÈÇÐ ÅðÀû¹° Ư¼ö ºê·¡Å¶, 2 Àοë
Á÷°æ 25mm AAO ÅÛÇø´, (c) ´õºí Æнº AAO ÅÛÇø´ ºê·¡Å¶ÀÌ ¼³Ä¡µË´Ï´Ù.
AAO ÅÛÇø´ ±â°ø Á÷°æÀº ¾à 50nm, µÞ¸é Áõ¹ß ±Ý¼ÓÀº Au (40nm)/alÀÔ´Ï´Ù.
(500nm). (d) ´ÏÄÌ ÀÌÁß Åë°ú AAO ÅÛÇø´ DC Àü±â ÈÇÐ ÅðÀû¹°¿¡ ÀÇÇØ ÁõÁ¤µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
Á÷°æ È¿°úÀûÀÎ Áö¿ª ¾à 21mm.
![](https://ae01.alicdn.com/kf/S78098dd7e21649a3abae729e95f99c93G.png)
±×¸² 3. ÇDZԾî 2d ¿¡¼ Àü±â ÈÇÐ ÁõÂø¿¡ ÀÇÇØ ¾òÀº ´õºí Æнº aaoÀÇ ´Ü¸é
´ÏÄÌ ³ª³ë ¿ÍÀ̾ ¼±¸íÇÏ°Ô Ç¥½ÃµË´Ï´Ù.
Àü±â ÈÇÐ ÅðÀû¹°¿¡ ´ëÇÑ Æ¯º°ÇÑ ÁöÁö´ë´Â ÁÖ·Î ¾ÆÅ©¸±°ú ±¸¸®·Î ¸¸µé¾îÁ® Àüµµµµ, ±â°èÀû °µµ ¹× ³»½Ä¼ºÀÌ ¿ì¼öÇÏ¸ç ³ª»ç ¹× ¹ÐºÀ ¸µÀ» ºÐÇØÇϱ⠽±½À´Ï´Ù. ±×¸² 2 (a, b) ´Â Áö¸§ 25 mmÀÇ ´õºí Æнº aao¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ÁöÁö´ë »çÁøÀ» º¸¿©ÁÝ´Ï´Ù. ±×¸² 2c ´Â aao°¡ ¼³Ä¡µÈ ÁöÁö´ë¸¦ º¸¿©ÁÝ´Ï´Ù. ¼³Ä¡½Ã AAO ÅÛÇø´ÀÌ ±¸¸® ¿þÀÌÆÛ¿Í µ¿½ÉÇÏ´ÂÁö È®ÀÎÇÏ´Â °æ¿ì¿¡¸¸ ÇÊ¿äÇÕ´Ï´Ù. ¾ÆÅ©¸± ÀçÁúÀÇÁöÁö ÇÚµéÀÇ ¼½¼ÇÀº Á¤»ç°¢ÇüÀÌ°í ¼½¼Ç Å©±â´Â ¾à 5 * 5mm ÀÔ´Ï´Ù. ±×¸² 2d ´Â ´ÏÄÌ ÅðÀû¹° ÈÄ µà¾ó Æнº AAO ÅÛÇø´ À» º¸¿©ÁÝ´Ï´Ù. ÁöÁö´ë´Â ÄÄÆÑÆ® ÇÑ µðÀÚÀΰú ¿ì¼öÇÑ ¹ÐºÀ ¼º´ÉÀ» °¡Áö°í ÀÖ½À´Ï´Ù. Á÷°æ 25mm AAO È¿°úÀûÀÎ °ø¼ú¼ Áö¿ª (Áö¿ª Á¢ÃË ÀüÂø ÇØ°áÃ¥) µµ´Þ 21mm, ¹× Á÷°æ 13mm AAO È¿°úÀûÀÎ °ø¼ú¼ Áö¿ª (Áö¿ª Á¢ÃË ÀüÂø ÇØ°áÃ¥) µµ´Þ ¾à 10mm. ³ª³ë Å©±â È¿°ú·Î ÀÎÇØ ´ÏÄÌ ³ª³ë ¿ÍÀÌ¾î ¿µ¿ªÀº °ËÁ¤»öÀÔ´Ï´Ù. ÈÄ ÅÛÇø´ ±úÁø, SEM Å×½ºÆ®´Â. °á°ú´Â ±×¸² 3 ¿¡ Ç¥½ÃµË´Ï´Ù. ´ÏÄÌ ³ª³ë ¿ÍÀ̾î´Â ¸íÈ®ÇÏ°Ô º¸ÀÔ´Ï´Ù. Aao°¡ ±úÁö¸é °ñÀý Ç¥¸éÀÇ ÀϺΠ³ª³ë ¿ÍÀ̾ ²¨Áö°Å³ª ¹þ°ÜÁö°í ÇüÅ°¡ ¼±¸íÇÏ°Ô º¸ÀÔ´Ï´Ù. ÇöÀç, ¾ÆÅ©¸± Àç·áÀÇ Àü±â ÈÇÐ ÅðÀû¿¡ ´ëÇÑ µÎ Á¾·ùÀÇ Æ¯¼ö ÁöÁö´ë¸¦ °ø±ÞÇÕ´Ï´Ù. ÀÌÁß Åë°ú AAO ÅÛÇø´, °¢°¢ 25mm ¹× 13mm Àü±â ÈÇÐ ÅðÀû¿¡ »ç¿ëµË´Ï´Ù.
ÇöÀç, ¾ÆÅ©¸± Àç·áÀÇ Àü±â ÈÇÐ ÅðÀû¿¡ ´ëÇÑ µÎ Á¾·ùÀÇ Æ¯¼ö ÁöÁö´ë¸¦ °ø±ÞÇÕ´Ï´Ù. ÀÌÁß Åë°ú AAO ÅÛÇø´, °¢°¢ 25mm ¹× 13mm Àü±â ÈÇÐ ÅðÀû¿¡ »ç¿ëµË´Ï´Ù. ¾ÆÅ©¸± ¼ÒÀç´Â À¯±â ¿ë¸Å¿¡ ¿ëÇصDZ⠶§¹®¿¡ ¾ÆÅ©¸± ºê·¡Å¶À» û¼ÒÇϱâ À§ÇØ À¯±â³ó ¿ëÁ¦¸¦ »ç¿ëÇÏÁö ¸»°í Å» À̿¼ö¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© û¼ÒÇϽʽÿÀ. PEEK ºñ°è À¯±â ¿ëÁ¦·Î û¼ÒÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç À¯±â ÀüÇØÁú ½Ã½ºÅÛ¿¡ ÀûÇÕÇÕ´Ï´Ù.
![](https://ae01.alicdn.com/kf/Sd612318d634b4a50b6b41c55ff3b33b98.png)
±×¸² 4. ÇÈ Àü±â ÈÇÐ ÅðÀû¹° Áö¿ø (13mm ¹× 25mm ¾ç¹æÇâ aao¿¡ Àû¿ë °¡´É)
Âü°í: ±¸¸® ½ÃÆ® Ç¥¸éÀº °ø±â ÁßÀÇ Á¡Â÷ °ËÀº »öÀ¸·Î »êȵDZ⠶§¹®¿¡ Àß »ç¿ëÇϽʽÿÀ.
Á¦Ç°À»¹ÞÀº ÈÄ Ç¥¸éÀÇ Èæ»ö »êȹ° ÃþÀ» ¿¬¸¶ÇÏ´Â »çÆ÷.
¶§¹®¿¡ ¼Öº¥Æ® »ç¿ëµÇ´Â ÀüÇØÁú Àü±â ÈÇÐ °ø¼ú¼ ¶§·Î´Â À¯±â ¿ëÁ¦,
¾ÆÅ©¸± ÁöÁö´ë´Â À¯±â ¿ë¸Å¿¡ ÀÇÇØ ºÎ½Ä µÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
±×¸² 4 ·Î Ç¥½ÃµË´Ï´Ù. ¼ÕÀâÀÌÀÇ ³»ºÎ ºÎºÐÀº ±¸¸® ¿ÍÀÌ¾î ¸·´ë, ¿ÜºÎ ºÎºÐÀº ¼®¿µ Æ©ºê,
¿Ü°æ ¼®¿µ Æ©ºê 6mm. ¾Á¸µ ¸µÀº ºÎ½Ä ÀÎ ºÒ¼Ò °í¹« ¸µÀÔ´Ï´Ù.
ÀúÇ×. AAO °¡½ºÄÏÀº ±¸¸®·Î ¸¸µé¾îÁý´Ï´Ù. ¾Æ¹«¸® Áö¿ø ¿ªÇÒ ¶§¹®¿¡ Àΰ¨ ¹ÝÁö,
ÁÁÀº ¾ÁÀ» º¸Àå ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. Àü±â ÈÇÐ ÅðÀû¹° Áß Àü±â ħÀü¹°Àº ³»ºÎ¿¡ ¿¬¶ôÇÏÁö ¾Ê½À´Ï´Ù.
Àüµµ¼º ±Ý¼Ó. Àü±â ÈÇÐ ÅðÀû¹° Àü¿¡ µÎ²¨¿î Àüµµ¼º ±Ý¼ÓÃþ
AaoÀÇ ¸ðµç ±¸¸ÛÀÌ ¸·Çô ÀÖ´ÂÁö È®ÀÎÇÏ·Á¸é AAO µÞ¸é¿¡¼ Áõ¹ßÇؾßÇÕ´Ï´Ù (ÀÌ°ÍÀº ¸Å¿ì Áß¿äÇÕ´Ï´Ù).
Âü°í: ¹«·á ¾ç¹æÇâ AAO ÅÛÇø´, Æ÷Àå ¹× ³»ºÎ¿¡ ¹èÄ¡
¹ÝÀü, Áï, ȸ»ç ·Î°í°¡ÀÖ´Â ¹Ú½º Ä¿¹ö¸¦ ÇâÇÑ Ãø¸éÀº ¹Ý¸éÀÔ´Ï´Ù.
AaoÀÇ.
Âü°í: ÀÌ ºê·¡Å¶Àº ´ë±â Àü±â ÈÇÐ ÅðÀû¹° ½Ã½ºÅÛ¿¡¸¸ »ç¿ëµË´Ï´Ù.
Áø°ø û¼Ò±â¿¡ ¹®Á¦°¡ ¹ß»ýÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.