|
aHR0cDovL2ZyZWVzaGlwLmNvLmty
·¹ÀÌÀú ¸¶ÀÌÅ©·Î °Ë·ù°è ¸¶ÀÌÅ©·Î ÇÁ·ÎÁ§ÅÍ ¸ðµâ ·¹ÀÌÀú ½ºÄ³´× °Ë·ù°è MEMS ¹Ì·¯ ¸¶ÀÌÅ©·Î °Ë·ù°è Mcmus ÄÁ¼³Æà º¸°í¼¿¡ µû¸£¸é, zhimicrosensor´Â MEMS Micro galvanometer ºÐ¾ß¿¡¼ 10 ³â ÀÌ»óÀÇ ¿¬±¸ °³¹ß °æÇèÀ» º¸À¯ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç ¸¹Àº ÇÙ½É ±â¼úÀ» ÃàÀûÇß½À´Ï´Ù. ¼³¸³ ÈÄ Áö³ 2 ³â µ¿¾È zhimicrosensor´Â ºü¸£°Ô ¹ßÀüÇÏ¿© À¯ÀÍÇÑ °á°ú¸¦ ¾ò¾ú½À´Ï´Ù. 1 ³â ÈÄ, Zhiwei ¼¾¼ÀÇ ¸¶ÄÉÆà µð·ºÅÍ ÀÎ He Wei´Â Á¦ 24 ȸ "¸¶ÀÌÅ©·Î ½ºÇÇÄ¡" ¼¼¹Ì³ª¿¡ ´Ù½Ã ÇÑ ¹ø Âü¼®Çß½À´Ï´Ù. 3D ºñÀü ±â¼ú ¹× ÀÀ¿ë ÇÁ·Î±×·¥ "Àü¹®°¡ ¹× Á¦Á¶¾÷ü¿Í ¿ÃÇØÀÇ ¼öÈ® ¹× °æÇèÀ» °øÀ¯Çϱâ À§ÇØ mcmus°¡ ½ÅÁ¦Ç°À» ÄÁ¼³ÆÃÇÕ´Ï´Ù. Á¤Àü±â ±¸µ¿ MEMS ¸¶ÀÌÅ©·Î °Ë·ù°è´Â 3D ºñÀü ºÐ¾ß¿¡¼ ÀÚ¿¬ÀûÀÎ ±â¼úÀû ÀÌÁ¡À» °¡Áö°í ÀÖ½À´Ï´Ù. óÀ½¿¡ He Wei´Â MEMS Á¦Ç°±º¿¡¼ ¸¶ÀÌÅ©·Î °Ë·ù°èÀÇ ¿ªÇÒÀ» ´ëÁßÈÇß½À´Ï´Ù. "MEMS´Â ¼¾¼¿Í ¾×Ãß¿¡ÀÌÅÍ·Î ³ª´¹´Ï´Ù. ¼¾¼´Â ȯ°æ ½ÅÈ£¸¦ Àü±â ½ÅÈ£·Î º¯È¯ÇÏ´Â ÀåÄ¡ ÀÎ ³Î¸® µé¸³´Ï´Ù. ¿ì¸®°¡ ¸¸µç ¸¶ÀÌÅ©·Î °Ë·ù°è´Â Àü±â ½ÅÈ£¸¦ ÀÏÁ¾ÀÇ ±â°èÀû µ¿ÀÛÀ¸·Î º¯È¯ÇÏ´Â ¾×Ãß¿¡ÀÌÅÍ¿¡ ¼ÓÇÕ´Ï´Ù. Áï, MEMS ¸¶ÀÌÅ©·Î °Ë·ù°è´Â Àü±â ½ÅÈ£¸¦ ¹Ì·¯ ½ºÀ®À¸·Î º¯È¯ÇÏ¿© ·¹ÀÌÀú ºö ¹æÇâÀÇ Ã³Áü ½ºÄ³´×À» ½ÇÇöÇÕ´Ï´Ù. MEMS µ¶¸³Àû ÀÎ ÁöÀû Àç»ê±ÇÀ» °¡Áø ¸¶ÀÌÅ©·Î °Ë·ù°è Ĩ MEMS Micro galvanometer¿¡´Â Á¤Àü±â ±¸µ¿, ÀüÀڱ⠱¸µ¿, Àü¿ ±¸µ¿ ¹× ¾ÐÀü ±¸µ¿°ú °°Àº ³× °¡Áö ÀϹÝÀûÀÎ ÁÖÇà ¹æ¹ýÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. ±×Áß Á¤Àü±â ±¸µ¿ MEMS Micro galvanometer´Â 3D ºñÀü ºÐ¾ß¿¡¼ ÀÚ¿¬½º·¯¿î ±â¼úÀû ÀÌÁ¡À» °¡Áö°í ÀÖ½À´Ï´Ù. ¼Ò·®, ÀúÀü·Â ¼Òºñ, ºñ±³Àû °£´ÜÇÑ °øÁ¤, ³ôÀº ½Å·Ú¼º ¹× ¼öÀ²À» ´Þ¼º ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. Àú·ÅÇÑ ºñ¿ë. ¾¾. ±×´Â Wei°¡ ¼³¸íÇß´Ù: "MEMS ¸¶ÀÌÅ©·Î °Ë·ù°èÀÇ ÁÖ¿ä ½ÃÀåÀº ÇöÀçÀÇ ÀüÅëÀûÀÎ ±â°è½Ä ¸ðÅ͸¦ ´ëüÇÏ¿© º¼·ýÀ» ¸Å¿ì ÀÛ°Ô ¸¸µé°í Àü·Â ¼Òºñ¸¦ ¸Å¿ì ³·Ãß´Â °ÍÀÔ´Ï´Ù. ½Ã½ºÅÛ ½Å·Ú¼ºÀ» Çâ»ó½ÃÅ°°í ºñ¿ëÀ» Àý°¨ ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù." µ¿½Ã¿¡ He Wei´Â ´ÙÀ½°ú °°ÀÌ ¼Ò°³Çß½À´Ï´Ù. "Zhiwei ¼¾¼´Â Áß±¹¿¡¼ ¼º¼÷ÇÑ 4 ÀÎÄ¡ ¶óÀÎ OEM R & amp; D ä³ÎÀ» °¡Áö°í ÀÖÀ¸¸ç, Ĩ ¹Ýº¹ ¼Óµµ´Â ÀÌ ºÐ¾ß¿¡¼ ÈξÀ ¾Õ¼¸ç, °í°´ÀÌ ÇÊ¿ä¿¡ µû¶ó ½Å¼ÓÇÏ°Ô »ç¿ëÀÚ Á¤ÀÇÇÏ°í °ËÁõÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï Áö¿øÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ °èȹÀÇ Å¸´ç¼ºÀÌ °áÁ¤µÇ¸é ´ë·® »ý»ê °øÁ¤ ¼öÀÔÀ» À§ÇØ 6 ÀÎÄ¡ ¹× 8 ÀÎÄ¡ ¶óÀÎÀ¸·Î ÀüȯÇÏ¿© Àú·ÅÇÑ ºñ¿ë°ú ´õ ¸¹Àº °ø±ÞÀ» ´Þ¼º ÇÒ °ÍÀ̸ç, °í°´ÀÌ ¸ÕÀú ½ÃÀåÀ» Á¡À¯Çϵµ·Ï µ½½À´Ï´Ù. "±â°è." MEMS ¸¶ÀÌÅ©·Î °Ë·ù°è µ¿Àû ±¸Á¶±¤ ¹æ½ÄÀº ±âÁ¸ DLP ¹æ½Äº¸´Ù ¿ì¼öÇÕ´Ï´Ù. »ê¾÷ ¼öÁØÀÇ 3D ÀÀ¿ë ºÐ¾ß¸¦ ¸ñÇ¥·Î ÇÑ He Wei´Â MEMS ¸¶ÀÌÅ©·Î °Ë·ù°è ¹æ½Ä¿¡ »ç¿ë µÈ ±â¼úÀ» ¸íÈ®ÇÏ°Ô º¼ ¼ö ÀÖµµ·Ï 3D ºñÀü ±â¼úÀÇ ºÐ·ù¸¦ óÀ½À¸·Î µµ¿Ô½À´Ï´Ù. ¸¶ÀÌÅ©·Î ¼¾¼ÀÇ 3D Ä«¸Þ¶ó ¹æ½ÄÀº »ï°¢ °Å¸® Á¶Á¤ ¹æ¹ý, Áï µ¿Àû ±¸Á¶È µÈ ºû ÄÚµù ¹æ¹ýÀÇ ½Ã°£ ÄÚµùÀ» »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù. ÃÊ°íÁ¤È®µµ¸¦ ´Þ¼º ÇÒ ¼öÀÖ´Â ÇöÀçÀÇ 3D ÃøÁ¤ ¹æ½Ä Áß ÇϳªÀÔ´Ï´Ù. ¹«Áú¼ÇÑ ¼±º°, »ê¾÷ ÃøÁ¤, Á¶À۱⠾ȳ» µî°ú °°Àº »ê¾÷¿ë 3D ºñÀü ÀÀ¿ë ºÐ¾ß¿¡¼ º¸´Ù Á¤È®ÇÏ°í È¿°úÀûÀÔ´Ï´Ù. 3D ºñÀü ±â¼úÀÇ »ó¼¼ÇÑ ºÐ·ù ÀüÅëÀûÀÎ 3D ½ºÄ³´×Àº ÀϹÝÀûÀ¸·Î DLP ü°è¸¦ »ç¿ëÇÕ´Ï´Ù. Áï, TI (Texas Instruments) µðÁöÅÐ ¸¶ÀÌÅ©·Î ¹Ì·¯ ¾î·¹ÀÌÀÇ µðÁöÅÐ ±¤ 󸮸¦ »ç¿ëÇÏ¿© µ¿Àû ±¸Á¶È µÈ ±¤ Åõ»ç¸¦ ´Þ¼ºÇÕ´Ï´Ù. ÀÌ´Â MEMS ¸¶ÀÌÅ©·Î ¹Ì·¯¸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ÇÑ ±¸Á¶È µÈ Á¶¸í°ú Å©°Ô ´Ù¸¨´Ï´Ù. He Wei´Â "µÎ °¡Áö ¹æ½ÄÀÇ °øÅëµÈ Ư¡Àº 3D À̹Ì¡ Á¤È®µµ°¡ ¸Å¿ì ³ô´Ù´Â °ÍÀÔ´Ï´Ù. MEMS Micro °Ë·ù°è¸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ÇÑ 3D À̹Ì¡ Á¤È®µµ´Â 0.2 mmº¸´Ù ¿ì¼öÇÑ ¼ºê¹Ð¸®¹ÌÅÍ ¼öÁØÀÇ Á¤È®µµ¿¡ µµ´ÞÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. µ¿½Ã¿¡ MEMS Micro galvanometer¸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ºñ ÃÊÁ¡ ±¸Á¶ÀÇ ºû Åõ»ç ¹× ³ÐÀº ÇÇ»ç°è ŽÁö¸¦ ½ÇÇöÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀϺΠÀΰ£ ¸ðµ¨¸µ Àå¸é¿¡¼ Àû¿Ü¼± ·¹ÀÌÀúÀÇ Á¶ÇÕÀº ºñ À¯µµ ¼º ŽÁö¸¦ ´Þ¼º ÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç ÀÌ´Â ¶ÇÇÑ ÀåÄ¡ Å©±â ¹× ºñ¿ë¸é¿¡¼ »ó´çÇÑ ÀÌÁ¡À» °¡Áö°í ÀÖ½À´Ï´Ù." ¸¶ÀÌÅ©·Î ¼¾¼ 3D Ä«¸Þ¶ó·Î ½ºÄµ ÇÑ ¿øº» Ŭ¶ó¿ìµå Æ÷ÀÎÆ® À̹ÌÁö He Wei´Â »ê¾÷¿ë 3D Ä«¸Þ¶óÀÇ ÀÀ¿ë ½Ã³ª¸®¿À¸¦ ÀÚ¼¼È÷ ¼³¸íÇß½À´Ï´Ù. ù ¹ø° ÀϹÝÀûÀÎ ¾ÖÇø®ÄÉÀÌ¼Ç ½Ã³ª¸®¿À´Â "¹°·ù ¿þ¾îÇÏ¿ì¡ÀÇ ÆÐÅ°Áö Å©±â ÃøÁ¤" ÀÔ´Ï´Ù. TOF ±â¼úÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î ÇÑ 3D Ä«¸Þ¶ó´Â ±íÀÌ ÃøÁ¤¿¡ ÀåÁ¡ÀÌ ÀÖÀ¸¸ç Á¤È®µµ´Â 5mm ¿¡ µµ´Þ ÇÒ ¼ö ÀÖÁö¸¸ XY ¹æÇâÀÇ Çػ󵵴 640x480 ¿¡ ºÒ°úÇÏ¿© ÃæºÐÇÏÁö ¾Ê½À´Ï´Ù. µ¿Àû ±¸Á¶È µÈ ºûÀ» °¡Áø 3D Ä«¸Þ¶ó´Â ÀÌ·¯ÇÑ °áÇÔÀ» º¸¿ÏÇÏ°í ´õ ³ôÀº °¨Áö Á¤È®µµ¸¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ¹°·ù »ê¾÷¿¡¼ 3D Ä«¸Þ¶ó´Â Å©±â¸¦ ÃøÁ¤ ÇÒ»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó »óÇ° ¹× ±âŸ ¿ä±¸ »çÇ×ÀÇ Á¤·ÄÀ» ½ÇÇöÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. "µÎ ¹ø° Àû¿ë »ç·Ê´Â" ¹«Áú¼ÇÑ Á¤·Ä, ¹«Áú¼ÇÑ °´Ã¼ ÀúÀå, 3D Ä«¸Þ¶ó¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© °´Ã¼ À§Ä¡¸¦ ´Þ¼ºÇÏ´Â °Í "ÀÔ´Ï´Ù. 3D Ä«¸Þ¶óÀÇ ÁÖ¿ä ±â´ÉÀÎ Á¶ÀÛ±âÀÇ ½Ã°¢ ¾È³» À§ÇØ »ç¿ëµË´Ï´Ù. "¶Ç ´Ù¸¥ Èï¹Ì·Î¿î ÀüÇüÀûÀÎ ÀÀ¿ë ÇÁ·Î±×·¥Àº" Á¦È ·Îº¿¿¡¼ ¹ØâÀÇ ½ºÄ³´×À» ÅëÇØ ¹ØâÀÇ °¡ÀåÀÚ¸®°¡ ÃßÃâµÇ°í ±â°è ÆÈÀÌ ¹ØâÀ» °ÅÄ¥°ÔÇÏ°í Á¢ÂøÇϵµ·Ï À¯µµµË´Ï´Ù." ¸¶Áö¸·À¸·Î He Wei´Â 4 Â÷ »ê¾÷ Àû¿ë »ç·Ê ÀÎ Ä¿³ØÅÍ ºÎµ¿ ³ôÀÌ °¨Áö ±â´ÉÀ» µµÀÔÇß½À´Ï´Ù. "ÇöÀç ÀÚµ¿Â÷ ¾÷°èÀÇ °í°´Àº Ç»Áî°¡ ¾çÈ£ÇÑ Á¢ÃËÀÎÁö È®ÀÎÇؾßÇÕ´Ï´Ù. ÁÖ·Î Ç»Áî Ä¿³ØÅÍ ³ôÀÌ°¡ ÇÕ¸®ÀûÀÎ ¼³Á¤ ¹üÀ§ ³»¿¡ ÀÖ´ÂÁö ¿©ºÎ¿¡ µû¶ó ´Ù¸¨´Ï´Ù. ¿ì¸® Ä«¸Þ¶ó ÅëÇØ Ç»Áî ¹Ú½º Àüü ÃÔ¿µÇÏ¿© Ç»Áî ±íÀÌ Á¤º¸ ÃßÃâÇÏ¿© ÆÇ´Ü ½ÇÇöÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. Á¤È®µµ ¿ä±¸ »çÇ×Àº 0.5mm À̳»À̸ç ÇöÀç TOF ¼Ö·ç¼ÇÀ¸·Î´Â ÇØ°áÇÒ ¼ö ¾ø½À´Ï´Ù. “ÇÏÀ̺긮µå °íü ¶óÀÌ´õÀÇ ·¹À̾ƿôÀº Áß±¹ ½ºÄ³´× Äھ ¼±µÎ·Î ÇÕ´Ï´Ù! ¾¾. He Wei´Â "MEMS Micro galvanometer¸¦ ±â¹ÝÀ¸·Î ÇÑ ÇÏÀ̺긮µå °íü ¶óÀÌ´õ´Â ¶óÀÌ´õÀÇ ¼ÒÇüÈ ¹× Àú·ÅÇÑ ºñ¿ëÀ» ½ÇÇöÇÏ´Â È¿°úÀûÀÎ ¹æ¹ý Áß ÇϳªÀ̸ç, ¶ÇÇÑ ÂªÀº »ó¾÷ °æ·Î¸¦ °¡Áø ¹æ¹ýÀ¸·Î Àνĵ˴ϴÙ." Zhiwei ¼¾¼°¡ ½ÃÀÛÇÑ MEMS ¶óÀÌ´õÀÇ ÇÙ½É ½ºÄ³´× ¸ðµâÀº µå¶óÀ̺ê, Á¦¾î ¹× Æó¼â ·çÇÁ Çǵå¹éÀÇ ÅëÇÕÀÌ Æ¯Â¡ÀÔ´Ï´Ù. Àü¿øÀÌ ¿¬°áµÇ¾î ÀÖ°í ±¸¼ºÀÌ Àß ¿Ï·áµÇ¸é ÀÚµ¿À¸·Î ½ÇÇàµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. »ç¿ëÀÚ´Â ¸¶ÀÌÅ©·Î °Ë·ù°è¸¦ ¾ÈÁ¤ÀûÀ¸·Î ÀÛµ¿½ÃÅ°´Â ¹æ¹ý¿¡ ´ëÇØ °ÆÁ¤ÇÒ ÇÊ¿ä°¡ ¾øÀ¸¹Ç·Î °í°´ÀÇ 2 Â÷ °³¹ß ÀÛ¾÷·®ÀÌ Å©°Ô ÁÙ¾î µì´Ï´Ù. He Wei´Â "¸¶ÀÌÅ©·Î ¼ÒÇüÈ ¹× Ĩ ±â¹Ý MEMS ½ºÄ³´× ¸ðµâÀ» »ç¿ëÇÏ¸é ³ôÀº ÇÁ·¹ÀÓ ¼Óµµ¿Í Àå°Å¸® ¶óÀÌ´Ù¸¦ ´Þ¼º ÇÒ ¼öÀÖ¾î º¼·ý°ú ºñ¿ëÀ» ÁÙÀÏ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. ¿ì¸®ÀÇ °í°´Àº 0.05 µµÀÇ ÇØ»óµµ¿Í 1.15 khzÀÇ ÇÁ·¹ÀÓ ¼Óµµ¸¦ °¡Áø ¶óÀÌ´Ù (lidar) ¸¦ ½ÇÇöÇß½À´Ï´Ù. µ¿½Ã¿¡ °í°´ÀÇ ½ÇÁ¦ ¿ä±¸¿¡ µû¶ó ¶óÀÌ´õ¸¦ »ç¿ëÀÚ Á¤ÀÇÇÏ¿© ´Ù¾çÇÑ Àå¸é¿¡¼ »ç¿ëÀÚÀÇ ¼º´É ¿ä±¸ »çÇ×À» ÃæÁ·½Ãų ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. "¸¶Áö¸·À¸·Î, He Wei´Â MEMS Micro galvanometer°¡ÀÖ´Â ±¤°¢ ¼ö½Å ÇÏÀ̺긮µå ¼Ö¸®µå ½ºÅ×ÀÌÆ® ¶óÀÌ´Ù ¹æ½ÄÀ» ¼Ò°³ÇÏ°í Infineon°ú ledartechÀÇ ÇÏÀ̺긮µå ¼Ö¸®µå ½ºÅ×ÀÌÆ® ¶óÀÌ´Ù ¹æ½ÄÀ» ºñ±³ÇÕ´Ï´Ù. ¸¶ÀÌÅ©·Î¼¾¼¿ë MEMS ½ºÄ³´× ¸ðµâÀÇ Æ¯¼º ¸¶Áö¸·À¸·Î, He Wei¿Í ±×ÀÇ ÆÄÆ®³Ê ÀÎ Dai Yi, ½Éõ Yunzhi µ¥ÀÌÅÍÀÇ CEO, Zhu Jun, Suzhou ¶óµã »çÁø Àü±â ÁÖ½Ä È¸»çÀÇ CEO: argus ½Ã¸®ÁîÀÇ °íÁ¤¹Ð 3D Ä«¸Þ¶ó ¹× ·¹ÀÌÀú ·¹ÀÌ´õ MEMS ½ºÄ³´× ¸ðµâÀº ¼¼¹Ì³ªÀÇ ¾Æħ ¼¼¼ÇÀ» ÀýÁ¤À¸·Î ²ø¾î ¿Ã·È½À´Ï´Ù. ȸÀÇ ´çÀÏ, ¼¾¼ Â÷À̳ª 2018 ºÎ½º¿¡ ¸¹Àº ¹æ¹®°´µéÀÌ ¼¾¼ Á÷¿øµé°ú ½Éµµ ÀÖ´Â Åä·ÐÀ» Çϱâ À§ÇØ ¹æ¹®Çß½À´Ï´Ù.
|
|
|
|
|